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              雙爐滑軌PECVD

              簡要描述:雙爐滑軌PECVD該PECVD(等離子化學氣相沉積系統)系統,有多路質量流量計系統(進口流量計),真空機組(進口真空泵),PE射頻電源(進口射頻源),溫控系統等裝置構成。使用PE源將氣源等離子化,有利于降低工藝溫度,同時擴大工藝的使用條件,滿足更多的工藝實驗要求,如石墨烯、碳納米管等,控制操作系統集成于觸摸屏操作面板上,便于操作與觀察。

              • 產品型號:
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-09-30
              • 訪  問  量:135

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              儀器種類管式爐產地類別國產
              應用領域環保,化工,能源,電子

              雙爐滑軌PECVD雙爐滑軌PECVD技術參數:

              雙溫場滑軌爐

                主要特點:

                滑軌式快速升溫爐是專為生長石墨烯研制的石墨烯生長專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗,這款設備是根據開啟式真空管式爐改裝而來的,操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環境下,得到快速的降溫速率。

                技術參數:

                額定功率(KW):4

                額定電壓(V):AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

                最高溫度(℃):1200(1 hour)

                持續工作溫度(℃):1100

                最大升& 降溫速率(℃/S):≤20

                爐管尺寸(mm):高純石英管Φ50×1900(管徑可選)

                加熱區長度(mm) :230+230

                恒溫區長度(mm):100+100

                控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制具有超溫和斷偶報警功能

                控溫精度(℃):±1

                密封系統:爐管兩端配304不銹鋼水冷密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表,法蘭進氣端配置兩個Φ6mm卡套進氣口。

                凈重(Kg):80

              射頻電源500W

               

                信號頻率:13.56 MHz±0.005%

                功率輸出范圍:L5W-500W

                最大反射功率:200W

                射頻輸出接口:50 Ω, N-type, female

                功率穩定度:±0.1%

                諧波分量:≤-50dbc

                供電電壓:單相交流(187V-253V)

                頻率:50/60HZ

                整機效率:>=70%

                功率因素:>=90%

                冷卻方式:強制風冷

              供氣系統

               

                工作電壓:185~245V 50HZ

                最大輸出功率:18W

                流量計標準量程:100sccm,200sccm,200sccm,500sccm(非特殊以氮氣標定,量程可選)

                工作溫度:5~45℃

                工作壓差:0.1~0.5MPa

                最大壓力:3MPa

                準確度:±1.5% FS

                測量范圍:-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)

                針閥:316不銹鋼

                混氣罐:Φ80×120mm

                截止閥:Φ6mm"316不銹鋼針閥

                尺寸:600×600×650 mm

              低真空機組VAU-02

               

                空氣相對濕度: ≤85%

                工作電電壓:220V±10%  50~60HZ

                抽氣速率:8m3/h

                極限真空:4X10-2Pa

                實驗真空度:1.0X10-1Pa

                容油量: 1.1L

                進氣口口徑:KF25

                排氣口口徑:KF25

                轉速:1450rpm

                噪音:50dB

                外型尺寸:600×600×600mm


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