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              前端預熱滑軌PECVD

              簡要描述:前端預熱滑軌PECVD
              安徽貝意克設備技術有限公司成立于2012年,隸屬百思集團,其平行公司有百思新材料研究院有限公司、合肥萊德裝備技術有限公司、天津百諾金科技有限公司、合肥歐萊迪光電技術有限公司、安徽貝意克智能科技有限公司。貝意克公司于2020年在合肥投資5億元新建5萬平米貝意克智能裝備產業園。設有貝意克工程設計中心,貝意克工程技術中心,貝意克聯合實驗室等研發公共服務平臺。

              • 產品型號:
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-09-30
              • 訪  問  量:138

              產品分類

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              儀器種類管式爐產地類別國產
              應用領域環保,化工,能源,電子
              前端預熱滑軌PECVD前端預熱滑軌PECVD

              管式爐

              爐管尺寸:外徑φ50

              加熱元件:電阻絲(Fe-Cr-Alloy doped by Mo)

              加熱區長度:440mm

              恒溫區長度:200mm(±1℃)

              工作溫度:1100℃

              最高溫度:1200℃

              控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

              控溫精度:±1℃

              升溫速度:20℃/min

              爐門結構:開啟式

              工作電源:AC220V/50Hz

              額定功率:3KW

              射頻電源

              信號頻率:13.56MHz±0.005%

              功率輸出范圍:5W-500W

              最大反射功率:200W

              射頻輸出接口:5Ω,N-type,female

              功率穩定度:±0.1%

              諧波分量:-50dbc

              供電電壓:單相交流(187V-253V),頻率50/60Hz

              整機效率:≥70%

              功率因素:≥90%

              冷卻方式:強制風冷

              供氣系統

              外形尺寸:600*600*650mm

              連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭

              標準量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm

              準確度:±1.5%

              線性:±0.5%~1.5%

              重復精度:±0.2%

              響應時間:氣特性:1~4Sec,電特性:10Sec

              工作壓差范圍:0.1~0.5MPa

              最大壓力:3MPa

              接口:φ6,1/4"

              顯示:4位數字顯示

              工作環境溫度:5~45高純氣體

              內外雙拋不銹鋼管:φ6

              壓力真空表:-0.1~0.15MPa,0.01MPa/格

              截止閥:φ6

              低真空機組

              技術參數:

              功率:0.4KW(4級)

              極限壓力:5*10-1(Pa)

              外型尺寸:600*600*650mm

              電阻真空計參數:

              1.配用規管:電阻規

              2.測量范圍:1055*10-1Pa

              3.測量路數:1路

              4.控制范圍:5*1035*10-1Pa

              5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力AC220V/3A(或DC28V/3A)無感負載

              6.電源:90-260V/50Hz或220V±10%  50Hz

              7.功耗:20W

              預熱爐

              工作溫度:350℃

              最高溫度:400℃

              最快升溫速率:30℃/min

              推薦升溫速率:10℃/min

              控溫方式:智能化30段可編程控制


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              地址:合肥市巢湖花山工業園和平大道與秀湖路交叉路口北百思集團
              郵箱:besteq@163.com
              傳真:86-0551-65148123
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