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              前端預熱PECVD

              簡要描述:前端預熱PECVD產品簡介:本設備主要針對實驗和中試石墨烯生長和制備使用,同時該設備可以用于碳納米管的生長??芍苽涑龈哔|量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。

              • 產品型號:
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-09-30
              • 訪  問  量:95

              產品分類

              Product Category

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              儀器種類管式爐產地類別國產
              應用領域環保,化工,能源,電子

               PECVD-II-500A高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無須操作人員的干預,可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求,關鍵電氣元件采用優質的進口產品,做到高性能、免維護,提高了設備質量的可靠性。             前端預熱PECVD 前端預熱PECVD 

               1、加熱系統

              最高溫度

              1200℃

              使用溫度

              ≤1100℃

              尺寸

              Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據實際需要定制。)

              爐膛材料

              氧化鋁、高溫纖維制品

              熱電偶類型

              K型熱電偶

              控溫精度

              ±1℃

              控溫方式

              30段可編程控溫,PID參數自整定,操作界面為7"工控電腦,內置PLC控制程序。

              加熱長度

              200+200mm

              恒溫長度

              100+100mm

              加熱原件

              電阻絲

              供電電源

              單相,220V,50Hz

              2、PE射頻電源

              功率輸出范圍

              0W~500W

              最大反射功率

              100W

              射頻輸出接口

              50 Ω, N-type, female

              功率穩定度

              ≤5W

              諧波分量

              ≤-50dbc

              供電電壓

              單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

              整機效率

              >=70%

              功率因素

              >=90%

              冷卻方式

              強制風冷

              3、三路質子流量控制系統

              連接頭類型

              雙卡套不銹鋼接頭

              標準量程(N2)

              50sccm,100sccm、500sccm(可根據用戶要求定制)

              準確度

              ±1.5%F.S

              線性

              ±1%F.S

              重復精度

              ±0.2%F.S

              響應時間

              氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

              工作壓差范圍

              0.1~0.5 MPa

              最大壓力

              3MPa

              接口

              Φ6,1/4''

              顯示

              4位數字顯示

              工作環境溫度

              5~45高純氣體

              壓力真空表

              -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

              截止閥

              Φ6

              內外雙拋不銹鋼管

              Φ6

              4、低真空機組

              空氣相對濕度

              ≤85%

              工作環境

              5℃~40℃

              工作電電壓

              220V±10%  50~60HZ

              功率

              1KW

              抽氣速率

              10m3/h

              極限真空

              5X10-1Pa

              工作壓力范圍

              1.01325X105~1.33X10-2Pa

              耐壓值

              0.03MPa

              容油量

              1.1L

              進氣口口徑

              KF25

              排氣口口徑

              KF25

              噪音

              50dB

              連接方式

              采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連


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