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              石墨烯生長

              簡要描述:低真空CVD石墨烯生長系統是由1200度開啟式管式爐、精密的質量流量控制系和真空系統所組成。廣泛應用在半導體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領域。

              • 產品型號:BTF-1200C-CVD
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-10-14
              • 訪  問  量:93

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              應用領域電子,綜合

                石墨烯生長系統主要特點:該設備是由1200度開啟式管式爐、精密的質量流量控制系和真空系統所組成。廣泛應用在半導體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領域。

               1.石墨烯生長系統加熱系統

              最高溫度

              1200℃

              使用溫度

              ≤1100℃

              石英管尺寸

              Φ25/φ50/φ60/Φ80/φ100*1000mm

              爐膛材料

              氧化鋁、高溫纖維制品

              熱電偶類型

              K型熱電偶

              控溫精度

              ±1℃

              控溫方式

              30段可編程控溫,PID參數自整定。

              加熱長度

              440mm

              恒溫區長度

              200mm

              加熱原件

              電阻絲

              供電電源

              單相,220V,50Hz

              2、三路質子流量控制系統

              連接頭類型

              雙卡套不銹鋼接頭

              標準量程(N2)

              200sccm,500sccm、1000sccm(可根據用戶要求定制)

              準確度

              ±1.5%F.S

              線性

              ±1%F.S

              重復精度

              ±0.2%F.S

              響應時間

              氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

              工作壓差范圍

              0.1~0.5 MPa

              最大壓力

              3MPa

              接口

              Φ6,1/4''

              顯示

              4位數字顯示

              工作環境溫度

              5~45高純氣體

              壓力真空表

              -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

              截止閥

              Φ6

              內外雙拋不銹鋼管

              Φ6

              3、低真空機組

              空氣相對濕度

              ≤85%

              工作環境

              5℃~40℃

              工作電電壓

              220V±10%  50~60HZ

              功率

              1KW

              抽氣速率

              10m3/h

              極限真空

              5X10-1Pa

              工作壓力范圍

              1.01325X105~1.33X10-2Pa

              耐壓值

              0.03MPa

              容油量

              1.1L

              進氣口口徑

              KF25

              排氣口口徑

              KF25

              噪音

              50dB

              連接方式

              采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連




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