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              迷你型CVD系統

              簡要描述:迷你型CVD系統控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

              • 產品型號:
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-09-27
              • 訪  問  量:98

              產品分類

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              應用領域電子,綜合

              迷你型CVD系統加熱區參數

               爐管尺寸:外徑Φ25/50*600mm (管徑可選)

               加熱元件;電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)
               加熱區長度:230mm

               恒溫區長度;80mm

               工作溫度:1100℃
               最高溫度:1200℃
               控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能
               控溫精度;±1℃

               推薦升溫速度:20℃/min

               最快升溫速度:≤100℃/min

               爐門結構:開啟式
               工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

               額定功率:2KW

               外型尺寸:350×290×345 mm

               標準配件:石英管1根,不銹鋼密封法蘭1套,硅膠密封圈2套,氧化鋁管堵4只,高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險1個。

               密封系統:爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭),端口可按實際使用擴展。

              迷你型CVD系統氣路系統參數

               

               質量流量計參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm (量程可選)

               準確度:±1.5%

               線性:±0.5~1.5%

               重復精度:±0.2%

               響應時間:≤10sec

               工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

               最大壓力:3MPa

               接口:Φ6,1/4''

               顯示:4位數字顯示

               工作環境溫度:5~45高純氣體

               內外雙拋不銹鋼管:Φ6

               壓力真空表;-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

               截止閥:Φ6

               連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

               備注:可選配一路、兩路、三路、四路等以上質量流量計。

              低真空系統參數

               

               抽速:10m3/h

               極限真空度:5*10-1pa

               電源:220v 50hz

               電機功率:0.4kw  

               進排氣連接口:KF25

               用油量:1.1L

               電機轉速:1440rpm

               工作環境溫度:5-40℃

               噪音:≤56db

               電阻真空計參數:

               1.配用規管: 電阻規,

               2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa,

               3.測量路數: 1路

               4.控制范圍: 5×103 ~5×10 -1 Pa,

               5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載,

               6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

               7.功耗: 20W


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