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              1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選)

              簡要描述:BTF-1700C-CVD1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選)是由1700度管式爐、三路質量流量計系統以及國產高真空系統(或選配低真空系統)所組成。

              • 產品型號:
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-09-27
              • 訪  問  量:640

              產品分類

              Product Category

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              應用領域電子,綜合

              設備1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選)特點

                此款1700℃高溫CVD系統,是由1700度管式爐、三路質量流量計系統以及國產高真空系統(或選配低真空系統)所組成。此設備主要用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環境. 設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,氣路選用液晶屏觸摸界面,使得操作異常簡單、方便;設備的各項技術參數,30段可編程溫控系統更是一目了然,使整個實驗的運行狀態盡在您的掌控之中。

              1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選

              加熱區參數

               爐管尺寸:Φ60/80×1000mm(管徑可選)

               加熱元件:硅鉬棒

               加熱區長度:300mm

               恒溫區長度:150mm

               工作溫度:1550℃

               最高溫度:1650℃

               控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

               控溫精度:±1℃

               推薦升溫速度: 1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min

               工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

               額定功率:5.2 KW

               外型尺寸:610×440×720 mm

               標準配件:高純剛玉管1支,氧化鋁管堵2對,不銹鋼法蘭1套,氟膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險1個;

               密封系統:爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭),端口可按實際使用擴展。

              氣路系統參數

               

               質量流量計參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可選)

               準確度:±1.5%

               線性:±0.5~1.5%

               重復精度:±0.2%

               響應時間:≤10sec

               工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

               最大壓力:3MPa

               接口:Φ6,1/4''

               顯示:4位數字顯示

               工作環境溫度:5~45高純氣體

               內外雙拋不銹鋼管:Φ6

               壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

               截止閥:Φ6

               連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

               可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質量流量計

              低真空系統參數

               

               抽速:10m3/h

               極限真空度:5*10-1pa

               電源:220v 50hz

               電機功率:0.4kw  

               進排氣連接口:KF25

               用油量:1.1L

               電機轉速:1440rpm

               工作環境溫度:5-40℃

               噪音:≤56db

               電阻真空計參數:

               1.配用規管:電阻規,

               2.測量范圍: 105~10-1 Pa,

               3.測量路數: 1路

               4.控制范圍: 5×103~5×10-1Pa,

               5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載

               6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

               7.功耗: 20W

               采用波紋管手動擋板閥與真空系統相連接

              高真空系統參數

               

               空氣相對濕度:≤85%

               工作電壓:AC220V±10%  50/60HZ

               功率:1KW

               系統整體極限真空度:10-5Pa

               實驗真空度:10-3Pa

               外形尺寸:850×600×650mm

               機械泵:

               抽氣速率:10m3/h

               容油量:1.1L

               電機功率:400W

               極限壓強:6×10-2Pa

               分子泵:

               抽氣速率:100L/S

               極限壓強:6×10-6Pa

               啟動時間:<2min

               額定轉速:4300轉/分

               冷卻方式:環境溫度5-32℃時,風冷;5-40℃時,水冷。

               分子泵控制器:

               電壓:220V±22V

               啟動電流:≤7A

               輸入頻率:47HZ~63HZ

               最大輸出功率:≤150W

               最大加速電壓:≤40V

               加速時間:≤3min

               頻率(雙速):高速705HZ±10HZ

                                      低速430HZ±5HZ

               復合真空計:

               測量路數:2路(電阻規、電離規各1路)

               工作模式:手動/自動

               電阻單元參數

               規管型號:電阻規

               測量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

               有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

               控制范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

               電離單元參數

               規管型號:電離規

               可測范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

               有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

               控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

               規管除氣方式:焦耳去氣

               其他參數

               控制路數:4路

               控制方式:點動或區域控制/帶掉電記憶

               控制精度:±1%

               采樣時間:1s

               電源:220V±10% 50HZ

               功耗:50W

               使用環境溫度:0℃~45℃

               濕度:≤85%

               連接管路:采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優于1.0×10-9Pa.m3/s,采用波紋管手動擋板閥與真空系統相連接。

              備注:

              可根據工藝要求選配低真空或高真空系統。


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